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The invention relates to a micromechanical sensor device and to a corresponding production method. The micromechanical sensor device is equipped with a sensor substrate (2) having a front face (VS) and a rear face (RS), a sensor area (1) provided on the front face (VS), which may be brought into contact with an ambient medium, and a capping device (4) mounted on the front side (VS) for capping ...
The invention relates to a micromechanical sensor device and to a corresponding production method. The micromechanical sensor device is equipped with a sensor substrate (MC), having a front side (VS) and a back side (RS) and a back side cavity (K); wherein a substantially closed membrane region (M) is formed on the front side (VS), which membrane region is arranged above the back side cavity ...
Der intelligente Sensor S4000TH ist ein mikroprozessorgesteuerter Transmitter, der zur Verwendung mit MetalloxidhalbleiterSensoren (MOS) von General Monitors bestimmt ist.
Die Erfindung schafft eine mikromechanische Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Sensorvorrichtung ist ausgestattet mit einem Sensorsubstrat (2) mit einer Vorderseite (VS) und einer Rückseite (RS), einem auf der Vorderseite (VS) vorgesehenen Sensorbereich (1), welcher mit einem Umweltmedium in Kontakt bringbar ist, und …
Der intelligente Sensor S4000TH ist ein mikroprozessorgesteuerter Transmitter, der zur Verwendung mit MetalloxidhalbleiterSensoren (MOS) von General Monitors bestimmt ist.