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MICROMECHANICAL SENSOR DEVICE AND CORRESPONDING …

The invention relates to a micromechanical sensor device and to a corresponding production method. The micromechanical sensor device is equipped with a sensor substrate (2) having a front face (VS) and a rear face (RS), a sensor area (1) provided on the front face (VS), which may be brought into contact with an ambient medium, and a capping device (4) mounted on the front side (VS) for capping ...


WO2017148715A1 Micromechanical sensor device and ...

The invention relates to a micromechanical sensor device and to a corresponding production method. The micromechanical sensor device is equipped with a sensor substrate (MC), having a front side (VS) and a back side (RS) and a back side cavity (K); wherein a substantially closed membrane region (M) is formed on the front side (VS), which membrane region is arranged above the back side cavity ...


Modell S4000TH HTK Hamburg

Der intelligente Sensor S4000TH ist ein mikroprozessorgesteuerter Transmitter, der zur Verwendung mit MetalloxidhalbleiterSensoren (MOS) von General Monitors bestimmt ist.


WO2019007772A1 Mikromechanische …

Die Erfindung schafft eine mikromechanische Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Sensorvorrichtung ist ausgestattet mit einem Sensorsubstrat (2) mit einer Vorderseite (VS) und einer Rückseite (RS), einem auf der Vorderseite (VS) vorgesehenen Sensorbereich (1), welcher mit einem Umweltmedium in Kontakt bringbar ist, und …


Modell S4000TH Scene7

Der intelligente Sensor S4000TH ist ein mikroprozessorgesteuerter Transmitter, der zur Verwendung mit MetalloxidhalbleiterSensoren (MOS) von General Monitors bestimmt ist.